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無塵潔凈氮?dú)夤裉攸c(diǎn)及原理时间：2022-07-13 作者：杭州宏譽(yù)智能科技有限公司 潔凈氮?dú)夤裰饕獞?yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)中晶圓的存放。除了氮?dú)夤褡罨A(chǔ)的濕度控制或者含氧量控制以外，還需具備潔凈過濾功能。 為了保證芯片的成品率，晶圓存放、晶圓工藝中需要保證環(huán)境在class100甚至class10的水平。 空氣中有大量可見和不可見的懸浮顆粒。為了盡可能地消除這些顆粒，通常采用高效過濾裝置。在普通氮?dú)夤竦幕A(chǔ)上增加過濾循環(huán)風(fēng)管。機(jī)柜內(nèi)的空氣吸入風(fēng)道后，經(jīng)過濾器過濾后返回機(jī)柜。 無塵氮?dú)夤褚话悴捎肧US304鏡面不銹鋼制作，以減少使用過程中顆粒的產(chǎn)生還可以選擇其他功能，如報警、照明、含氧量、溫濕度曲線等。
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