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無氧氮氣柜和普通智能氮氣柜的區(qū)別时间：2022-07-08 作者：杭州宏譽智能科技有限公司 在半導(dǎo)體行業(yè)中,智能氮氣柜是前段晶圓制造和后段芯片封裝必不可少的設(shè)備之一，特別是晶圓存儲中氧含量和濕度的控制。
智能氮氣柜主要是通過濕度來控制電磁閥的開關(guān)，使用前設(shè)置氮氣柜的濕度，濕度沒有達到所設(shè)定濕度值則電磁閥開，氮氣持續(xù)沖入，濕度達到設(shè)定值以下則電磁閥關(guān)，氮氣關(guān)閉。 所以智能氮氣柜的缺點就是在環(huán)境比較干燥或者氮氣柜有除濕模塊情況下只能沖入少量的氮氣，柜內(nèi)達不到真正無氧的環(huán)境，而無氧氮氣柜則主要是通過氮含量來控制電磁閥的開關(guān)，晶圓的存儲環(huán)境是在低濕無氧的情況下，而不是低濕。 選擇普通的氮氣柜還是無氧氮氣柜則根據(jù)您存儲產(chǎn)品的要求來選擇。 |
