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充氮烘箱和無氧烘箱的區(qū)別

时间:2022-07-20     作者:杭州宏譽智能科技有限公司

       充氮烘箱主要結(jié)構(gòu)和原理:內(nèi)部箱體主要采用SU304#或者316#不銹鋼保持腔內(nèi)環(huán)境潔凈,而且具有一定防腐蝕耐高溫的效果。風道同樣使用不銹鋼材料,風道必須保證密封,在使用過程中除了充入高純度的潔凈氮氣不讓外部空氣進入腔體。內(nèi)部風道在循環(huán)過程中一部分氣體通過外接熱排風管道排出,大部分空氣經(jīng)過風道和新鮮的氮氣加熱后再回到出風口進入腔體。

       充氮烘箱可以根據(jù)客戶的工藝及使用環(huán)境做成臺式烘箱、立式烘箱、左右開門烘箱、多層烘箱、分層烘箱、聯(lián)體烘箱、等等結(jié)構(gòu)。

       目前廣泛用于半導(dǎo)體、光電、電子、化工、陶瓷、塑料、印刷等行業(yè)。

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       無氧烘箱則集成了充氮烘箱、精密烘箱、潔凈烘箱的特點,另外增加了氮氣分析的功能。

       同樣內(nèi)部采用了SUS304#/316不銹鋼,外部可以選用冷軋鋼噴塑或者不銹鋼材料,內(nèi)部的密封度則比充氮烘箱更高,確保氧含量達到極低的環(huán)境,氧含量最低能達到10ppm,當然還和客戶使用氮氣純度有關(guān)。

       對氧含量有較高的要求同時,溫度均勻度要求也比較高,最低可達到±1℃,這時候需要保證風道內(nèi)的風壓平衡,需要增加出風口和回風口的調(diào)節(jié)裝置,達到腔內(nèi)各點的溫度均勻。

       無氧環(huán)境中潔凈度的要求也比較高,例如高精密半導(dǎo)體材料需要在class100的環(huán)境中完成烘烤,在風道內(nèi)加裝0.3um的高效耐高溫的過濾裝置,加熱管必須也是無污染的高端不銹鋼加熱管,防止污染內(nèi)部環(huán)境。

       在無氧烘箱的要求下,根據(jù)客戶不同的要求有無氧無塵烘箱,潔凈無氧烘箱、真空無氧烘箱等等。每種產(chǎn)品工藝都有特殊的工藝要求,可以根據(jù)不同的要求有不同的功能增加。

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       鑒于產(chǎn)品的多樣性和操作復(fù)雜程度,建議采用PLC編程控制系統(tǒng),操作簡單方便,也便于后續(xù)的維修服務(wù)等。

       無氧烘箱目前主要用于半導(dǎo)體、光電、精密電子、新能源、制藥、化工等高精密要求行業(yè)。

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