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充氮烘箱和無氧烘箱的區(qū)別时间:2022-07-20 作者:杭州宏譽智能科技有限公司 充氮烘箱主要結(jié)構(gòu)和原理:內(nèi)部箱體主要采用SU304#或者316#不銹鋼保持腔內(nèi)環(huán)境潔凈,而且具有一定防腐蝕耐高溫的效果。風道同樣使用不銹鋼材料,風道必須保證密封,在使用過程中除了充入高純度的潔凈氮氣不讓外部空氣進入腔體。內(nèi)部風道在循環(huán)過程中一部分氣體通過外接熱排風管道排出,大部分空氣經(jīng)過風道和新鮮的氮氣加熱后再回到出風口進入腔體。 充氮烘箱可以根據(jù)客戶的工藝及使用環(huán)境做成臺式烘箱、立式烘箱、左右開門烘箱、多層烘箱、分層烘箱、聯(lián)體烘箱、等等結(jié)構(gòu)。 目前廣泛用于半導(dǎo)體、光電、電子、化工、陶瓷、塑料、印刷等行業(yè)。 無氧烘箱則集成了充氮烘箱、精密烘箱、潔凈烘箱的特點,另外增加了氮氣分析的功能。 同樣內(nèi)部采用了SUS304#/316不銹鋼,外部可以選用冷軋鋼噴塑或者不銹鋼材料,內(nèi)部的密封度則比充氮烘箱更高,確保氧含量達到極低的環(huán)境,氧含量最低能達到10ppm,當然還和客戶使用氮氣純度有關(guān)。 對氧含量有較高的要求同時,溫度均勻度要求也比較高,最低可達到±1℃,這時候需要保證風道內(nèi)的風壓平衡,需要增加出風口和回風口的調(diào)節(jié)裝置,達到腔內(nèi)各點的溫度均勻。 無氧環(huán)境中潔凈度的要求也比較高,例如高精密半導(dǎo)體材料需要在class100的環(huán)境中完成烘烤,在風道內(nèi)加裝0.3um的高效耐高溫的過濾裝置,加熱管必須也是無污染的高端不銹鋼加熱管,防止污染內(nèi)部環(huán)境。 在無氧烘箱的要求下,根據(jù)客戶不同的要求有無氧無塵烘箱,潔凈無氧烘箱、真空無氧烘箱等等。每種產(chǎn)品工藝都有特殊的工藝要求,可以根據(jù)不同的要求有不同的功能增加。 鑒于產(chǎn)品的多樣性和操作復(fù)雜程度,建議采用PLC編程控制系統(tǒng),操作簡單方便,也便于后續(xù)的維修服務(wù)等。 無氧烘箱目前主要用于半導(dǎo)體、光電、精密電子、新能源、制藥、化工等高精密要求行業(yè)。 上一篇智能氮氣柜工作流程及原理下一篇無塵潔凈氮氣柜特點及原理 |